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使用平行光表面检查灯在洁净室中发现微小颗粒与划痕

发布时间: 2021-11-25  点击次数: 315次

很多行业的元器件,如半导体元器件、光学镜头、液晶面板等在制造过程中,空气中不允许有过多的灰尘颗粒;对于制造中的某些步骤,例如半导体,在清洗、载流子传输操作或涂覆光刻胶的过程中,由于空气中的颗粒会影响产品质量并造成重大损失。在洁净室中进行微粒检查的工作是必要的。

尽管洁净室非常干净,但是,洁净室中仍然存在极少量的灰尘。除了空气对流外,这些灰尘可能来自消耗品(例如手套和口罩)或由人体产生。(例如来自皮肤表面的死皮细胞)。

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以上使用LUYOR-3320平行光表面检查灯检测,产品咨询请联系我们

在洁净室中,一些没有气流的区域(死点)会慢慢积聚落尘。如果空气受到干扰,这些空气中的微尘会直接落到产品或工作人员身上,而不会被粒子计数器感应到。这些灰尘颗粒不易在洁净室内的空气中漂浮。当它们因静电或极性聚集在一起时,很难将粘性灰尘吹到排气口。

对于这种吸附的颗粒,不仅空气过滤器的收集效率低,而且粒子计数器也难以感应,而且这种颗粒一旦附着在重要的表面(如光罩)上,可能会影响产量。(路径越细,影响越大。)

如果操作者在一般的白光下很难从背景中分辨出灰尘颗粒,就无法有效地清洁灰尘,从而造成损失。因此,在洁净室中,如果可以使用特定波长的检测工具或小角度的平行光检查灯LUYOR-3320,就能有效检测产品上的粘尘,从而降低不良率。

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