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等离子清洗机

等离子清洗机

产品型号: PDC200

所属分类:实验室清洗机

产品时间:2020-12-10

简要描述:雅马拓等离子清洗机PDC200:适用于研究开发的小型等离子清洗ji。均匀性高的电极构造。操作简单的触摸屏控制器。

详情介绍

雅马拓等离子清洗机PDC200产品信息:

适用于研究开发的小型等离子清洗仪器。均匀性高的电极构造。操作简单的触摸屏控制器。

高频输出300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),电极尺寸250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)适用于研究开发的小型等离子清仪器。

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。

PDC200/210/510等离子清仪器用途

▪CSP、BGA、COB基板的等离子清洗

▪去除有机膜和金属氧化膜

▪印刷电路基板的干式清洗

▪界面活性处理

▪LED封装

▪DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)

▪RIE模式

▪均匀性高的电极构造

▪操作简单的触摸屏控制器

雅马拓等离子清洗机PDC200产品参数:

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIE(DP模式选配)

RIE/DP

电极构造

平行平板(固定)

高频输出

Max300W

Max500W

频率

13.56MHz

控制·显示

液晶触摸屏

反应室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

电极尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反应室材质

反应气体

2系统(Ar、O2)

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量控制

流量计

聚合控制器

真空泵

另行选配

油泵(约345L/分)标配

油泵(约500L/分)标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

约100kg

约105kg

约180kg

电源

单相AC100V10A

三相AC200V6A

三相AC200V8A



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