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当前位置：首页产品中心HORIBA高温磷酸/化学药液浓度计
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HORIBA/堀场HF-960M化学药液浓度计，低浓度型HF/HCl/NH3浓度计采用的传感器具有出色的耐腐蚀性，可对低浓度的化学品进行高精度、高速测量，因此是单槽清洗和晶圆清洗的理想选择。HF-960M 也是一款环保产品，使用无铅焊料将芯片嵌入印刷电路板。
HORIBA/堀场CS-620F光纤型高温磷酸浓度计，在3D NAND 制程中，沉积几十层二氧化硅和氮化硅，并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。能够在高达170℃ 的高温下进行测量。使用吸收光谱进行连续测量，与其他方法相比，需要的维护和耗材更少。
HORIBA/堀场CS-900非接触式化学药液浓度计，为达到半导体湿法制程中所需的严格化学药液浓度控制，HORIBA通过设计紧凑设备，以及通过其原有传感器设计保持稳定测量和确保操作人员安全，实现更强大功能以满足需求。
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