产品展示 / products 您的位置:网站首页 > 产品展示 > 实验室仪器 > 实验室清洗机 > YSP63FA等离子清洗机
等离子清洗机

等离子清洗机

产品型号: YSP63FA

所属分类:实验室清洗机

产品时间:2020-12-09

简要描述:雅马拓YSP63FA等离子清洗机:可进行样品传输系统定制。可通过网络进行远程操作。

详情介绍

雅马拓YSP63FA等离子清洗机产品特点:

可进行样品传输系统定制。

操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。

软性基板也可以进行传送操作。

传送速度可在Hi-Low间调节。

可通过网络进行远程操作(选购品)。

提高各种材料的粘接性、表面改质处理

清洗各类基板。

电子部品、材料表面改质。

更容易嵌入生产线使用。

可通过操作面板自由切换等离子模式。

雅马拓YSP63FA等离子清洗机产品参数:

型号

YSP63FA

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

反应台尺寸

W385×D362mm

内腔尺寸

W395×D378×H45mm(内尺寸)

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

真空泵

旋转式真空泵(约500L/min)

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

其它同类产品如下:
雅马拓YSP600U等离子清洗仪器:
产品特点:
样品传输系统为模块式,便于组合。
体积小,节省空间。
选用小型腔体,反应效率高。
更容易嵌入生产线使用。
可通过操作面板自由切换等离子模式。
配备冷却反应台。

技术参数:

型号

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

2000W

反应台尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个



留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服 联系方式

服务热线

400-892-6117 021-31268583 021-60513815 021-57631797