等离子清洗机

雅马拓等离子清洗机V1000产品特点：

■操作性·功能

●射频13.56Mhz0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗仪器，可对应更多复杂工艺.

●标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为accurate。

●液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。

■安全性·保护

●标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。

●装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。

●发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。

●门锁开关：门在未*关闭时无法启动电源。

●侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。

●紧急停止按键（EMO）标准配备。

●当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警

■产品优势

●清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。

●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。

●搭载高精度适配器，高性能RF电源。

●可变电极构造提高等离子处理效果。

●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。

●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。

●硅晶圆的灰化及蚀刻。

●基板表面污垢处理。

●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。

●半导体相关部品的电子材料的干式清洗。

●自然氧化膜·有机物去除。

●界面活性处理。

●表面污染物去除

雅马拓等离子清洗机V1000产品参数：