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等离子清洗机

等离子清洗机

产品型号: V1000

所属分类:实验室清洗机

产品时间:2020-12-10

简要描述:雅马拓等离子清洗机V1000:13.56MHz高频输出的等离子清洗仪器,搭载RIE·DP双模式。

详情介绍

雅马拓等离子清洗机V1000产品特点:

■操作性·功能

●射频13.56Mhz0-1000W高功率机型,DP和RIE标配的双模等离子清洗仪器,可对应更多复杂工艺.

●标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为accurate。

●液晶触摸屏控制,操作使用简单,调取数据简单。

■安全性·保护

●标准配备真空泄漏检测功能,可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。

●装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器,以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。

●发生器保护回路:超负荷或者RF发生器发生问题时,可自动调低频率来保护发生器。

●门锁开关:门在未完全关闭时无法启动电源。

●侧板锁:本体侧板突然打开或者未关好时,会停止电源。

●紧急停止按键(EMO)标准配备。

●当装置发生异常时,装置本体发出警告信号的同时,进行以下动作1)关闭主阀。(2)关闭供气阀。(3)停止输出振荡器。(4)停止处理时间。(5)声光报警

■产品优势

●清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。

●DP&RIE双模处理,可对应更复杂的工艺。

●搭载高精度适配器,高性能RF电源。

●可变电极构造提高等离子处理效果。

●安全保护措施绵密,有效防止对机器以及样品的损害。

●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。

●硅晶圆的灰化及蚀刻。

●基板表面污垢处理。

●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。

●半导体相关部品的电子材料的干式清洗。

●自然氧化膜·有机物去除。

●界面活性处理。

●表面污染物去除

雅马拓等离子清洗机V1000产品参数:

型号

V1000

方式

DP&RIE双模标准装备

性能

发生器功率:

0-1000W

发生器频率:

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式:

自动匹配(Automatching)

构成

腔体材质:

铝制腔体

腔体内尺寸:

400×400×384mm约61.4L

电极尺寸:

300mm×300mm

反应气体:

双路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体

填充气体:

一路氮气

控制方式:

全自动控制,5.7寸液晶触摸屏

真空度显示:

测量高真空的电离式真空计标准配备,实时显示腔体内真空度

配管材质:

SUS不锈钢以及特氟龙

门:

铰链门

涂装颜色:

标准色,白系

外形尺寸:

W700×D800×H1600mm(高度含警报灯)

真空泵:

无油干式真空泵抽速100m3/hour,吸气口NW40,排气口NW25

电源规格:

3phaseAC200V50/60Hz8A

重量:

约215kg

附属品

 

真空管件一套、真空转接接头一套



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